根据《华南农业大学大型仪器设备购置论证实施细则（试行）》的有关规定，食品学院拟采购光刻机1台，于2021年3月19日进行论证，现将设备相关基本情况（见附件）予以公示。
公示时间为2021年3月25日-2021年4月1日。如有异议，请于公示期内向资产与实验室管理处反映。以个人名义反映情况的，请提供真实姓名（并签名）、联系方式和反映事项的证明材料等；以单位名义反映情况的，请提供单位名称（并加盖公章）、联系人、联系方式和反映事项的证明材料等。不受理匿名或无证明材料的异议。
联系人：毕老师凌老师
联系电话：85281780 85287399
办公地点：行政楼433室
资产与实验室管理处
2021年3月25日
附件：
设备名称 | 光刻机 |
主要技术参数 | 1. 曝光波长；365nm 2. 曝光面积：150*150mm 3. 对准精度：±0.6μm 4.分辨率：0.8-1μm（胶厚2μm的正胶） 5.对准运动行程：X：5mm；Y：5mm，θ：6度 6.曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量 7. 掩膜尺寸：3英寸、4英寸、5英寸、7英寸 8. 最大厚胶：500 μm（SU8胶） |
申购学院 | 食品学院 |
预算金额 | 48万元 |
论证结果 | 拟同意购买 |